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第10章 手搓光源（第1页）

两个人推着平板车在快递点到实验室之间往返奔波几十趟，终于把所有材料都送进了实验室。

“这两顿火锅……我感觉有些亏啊。”大刘喘着气，把最后一包快递送进实验室。

“我俩兄弟，说这些？”卓尔拖着大刘手臂往外送。

“我说，你买这么多材料放实验室，不会是要干啥违法的事吧？”大刘有点担心“难道你想实验室加工卖x品？”

大刘被自己的想象吓了一跳。

“你蛇精病啊，做x品有买铜材铁材，稀有合金的吗？”卓尔指着快递上的品名，痛心疾的说。

大刘想了想，好像也是。

突然一拍大腿“我知道了，你这是要制造新型x品！”

“你Tmd能不能别说x品？”卓尔对大刘脑洞大开也没辙“我这是做材料实验呢。万教授都是知道的。实验室钥匙还是万教授给我的呢。”

卓尔只能搬出万教授。

大刘虽然有时候一根筋，但是对万教授还是很信服的。

听到万教授也知道才放下心来。

大刘转过身，少见正经的说“这几天我感觉你有了很大变化，白露的事别放心上，那种女人，配不上你。”

卓尔知道大刘是关心他，怕他想不开做极端的事情，心头也有点感动。

“你觉得兄弟我像是为了个朝三暮四的女人就自暴自弃的人吗？”卓尔在大刘肚子上捶了一拳。

“我觉得像。”大刘一本正经的说。

“去死你。”卓尔再打一拳重的，认真的说“现在我有更重要的事情要做，以前那些东西，完全不值一提。”

大刘咧嘴笑了，抬起砂锅大的拳头，在卓尔肩膀上锤了一拳“我墙都不扶就服你！”

卓尔揉了揉被捶得麻的肩膀，望着大刘离开的身影，嘴角露出笑容“这家伙……”

仅仅搬运材料就差不多用了一上午时间，卓尔不想多耽搁时间，上一世的军人经历让他充满了紧迫感，只想尽快把光刻机光源搓出来。

现在卓尔打算做的是光刻机的光源部分，以及相应的真空系统。

euv光刻机的光线宽度仅有o.18微米，是人的头直径的15oo，在这个尺度下，就算一粒空气中漂浮的灰尘，都像一座漂浮的山脉一般，会对光线造成严重的干扰。

所以整个光源部分都必须在真空环境中使用。

有了昨天的制造经验，光源、反射镜、光阑、聚光镜、真空室、真空泵、压力传感器……一个个部件从无到有，逐渐生成。

多亏了实验室中有一具用于搬运的外骨骼，卓尔才得以把众多的部件一一组装完成。

绝大多数材料是用于制造真空系统。

相对来说，真空系统的精度要求没有这么高，国内很多厂家是可以生产的。

当整个光源系统与真空系统造完之后，材料基本用完，材料的数量是由系统精确计算，稍微增加了一点冗余量而已。

近1o吨材料，差不多有9吨都用在制造真空系统上面，大块铸造的配件很多。

一台功率6oo瓦的极紫外光，光源设备已经摆在卓尔面前。

仅仅是造出设备并不够，还必须对光源进行相关检测，证明这个光源能够达到标准，卓尔才能用这台光源设备去获取更多的赞助。

平常的光源检测通常是采用单个紫外照度计，在光刻机照面内分区域逐点测量照面光强，从而计算出光斑均匀性。

但是耗时比较长，精度也相对较低。卓尔并不打算使用这个方法。

卓尔准备使用的是光刻机照度均匀度多点测量方法。

该方法利用紫外增强pIn光电二极管，同时快测量曝光机照面多点的光强，大大提高了曝光机照度。

卓尔轻轻抚摸着光滑的外壳，心中充满了成就感。

现在华夏国内，能够制造的极紫外光，光源设备最大功率大概在3oo瓦左右。

卓尔手头的这个光源，对现在的华夏还是有很大的帮助。

看看时间，现在时间才到晚上1o点。

光源检测可能还要消耗几个小时才能出结果，趁这个时间正好把大刘叫出来搓一顿。

卓尔锁好实验室大门，联系了大刘，就往老地方赶。

半路上正好遇到了张洁、白露和言娜，张洁看到卓尔，满心愤恨，又想扑过来，却被言娜赶紧拉住。

张洁冲动缺脑，言娜却知道，现在他们两人身上可是挂着诽谤和泄露他人信息的罪名。

现在两人不过是取保候审。